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Komponenten für die Nassprozesstechnologie

Die moderne Mikrotechnologie erfordert eine effiziente und präzise Bearbeitung hochwertiger Materialien in besonderen Reinräumen. Für einen Anbieter von Fertigungsanlagen, Automations- und Handlingsystemen für die Halbleiterindustrie produzieren wir eine Reihe von Kunststoffkomponenten für den spezifischen Einsatz in Nassprozessanlagen. Das abgebildete Gerät dient zum Transport und Abtrocknen von Wafern, dünnen Scheiben aus Reinsilizium, auf denen mit Hilfe lithographischer Prozesse aktive Halbleiterschaltungen hergestellt werden. Die Abmessungen der Wafer liegen im Quadratzentimeterbereich.

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